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VC60-5系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度的托舉運(yùn)動(dòng)升降平臺(tái),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),采用交叉滾柱導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度,空載截止頻率可達(dá)120Hz...
SurfaceZ系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)Z向平臺(tái),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),采用交叉滾柱導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度,空載截止頻率可達(dá)200...
ART130V-5系列 直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度托舉運(yùn)動(dòng)升降平臺(tái),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),交叉滾珠導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度,空載截止頻率可達(dá)150Hz以上...
SMH-V系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度托舉運(yùn)動(dòng)Z向平臺(tái),包括SMH115V-010 、SMH165V-020、SMH190V-035等,對(duì)應(yīng)行程分別是1...
ART165V-5系列 直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度托舉運(yùn)動(dòng)升降平臺(tái),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),交叉滾珠導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度,空載截止頻率可達(dá)150Hz以上...
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